




特種氣體有哪些?
特種氣體主要包括電子氣體、醫(yī)1療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、激光氣體、食品氣體、電光源氣體等,其中,電子氣體廣泛用于集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光纜等電子產(chǎn)業(yè)的加工制造過(guò)程,主要包括清洗、蝕刻、光刻、外延、摻雜等,是下游1行業(yè)關(guān)鍵性化工基礎(chǔ)材料,被譽(yù)為電子產(chǎn)業(yè)的“糧食”和“源”,現(xiàn)有單元特種氣體260余種,可配制成25000多種混合氣體。

特種氣體系統(tǒng):常規(guī)供氣系統(tǒng)
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),特種氣體生產(chǎn)廠家,遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架,繼電器控制,自動(dòng)切換,特種氣體價(jià)格,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空;VMB主管氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥,無(wú)錫特種氣體,氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。


特種氣體的介紹
特種氣體用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開(kāi)關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

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